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產(chǎn)品目錄

貝意克非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品名: 貝意克非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
型號: BTF-1200C-S-SL-CVD
  • 產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格參數(shù)

主要特點(diǎn)

  此款設(shè)備由電動滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置,氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源,如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體,前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃,且溫度獨(dú)立可調(diào),固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換;提高基體上涂層的均勻性;

2.爐體底部在電機(jī)帶動下可在導(dǎo)軌上水平移動,移動速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置?! ?/span>

3.采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。

4.供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計,流量計的量程可選,真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。


技術(shù)參數(shù):

加熱系統(tǒng)

**溫度

1200℃(1 hour)

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ40*800mm(爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制)

爐膛材料

高純氧化鋁纖維

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定

操作界面為10”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序

加熱長度

150mm

恒溫長度

70mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

220V,50Hz

額定功率

2KW

三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5~1.5%

重復(fù)精度

±0.2%

響應(yīng)時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

**壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

真空機(jī)組

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)排氣口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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